福建新材料产业“建圈强链”:“点”上深耕 “链”上协同

在福建“555X”产业集群建设蓝图中，新材料产业作为5个五千亿级产业集群之一，是支撑高质量发展的“硬核底座”。近日，记者走进上杭蛟洋工业园区，探访福建德尔科技股份有限公司(以下简称“德尔科技”)及产业链配套企业，解读福建省新材料产业的崛起密码。
德尔科技电子级三氟化氯生产车间，密闭厂房内数十根银色管道纵横交错，气体在管道中平稳流转。技术人员紧盯着控制台屏幕，一手轻握进气阀门，一脚轻搭在天然气阀门上，目光片刻不敢移开。“这种'双保险’操作，是为了应对合成反应中的突发状况，哪怕参数出现细微波动，都要及时调整。”全国劳模、德尔科技董事会秘书林德荣介绍。
对早已进入纳米精度级别的芯片来说，“清洗剂”的纯度极为关键。“以前，电子级三氟化氯这种芯片清洗蚀刻材料长期被日本垄断。”林德荣说，如今德尔科技已冲破了技术壁垒，成为国内*规模化生产电子级三氟化氯的企业，实现了电子级氟化氯国产替代进口。其制备的电子级三氣化氯纯度高达99.99%，成功供应韩国三星、台积电、中芯国际等全球头部芯片企业。“全球规模较大的芯片制造企业，我们的电子气体产品都已进入供应链。”林德荣的话语中满是自信。
创新突破是技术积淀的厚积薄发。在德尔科技*企业技术中心实验室，深夜灯火通明是常态。“为了捕捉瞬时化学反应，工程师们曾连续24小时轮番守在实验室;没有检测设备，我们就自主研发首台套三氟化氣色谱检测设备。”林德荣回忆，从2019年立项攻关到实现规模化生产，三年时间里，科研团队经历了无数次失败，终于突破核心技术。

本站部分内容属转载，版权归原作者所有，特此声明！如果侵犯了您的版权请来信告知，我们将会立即更改。